15-5PH不锈钢基体上硬质膜层制备及性能研究

• 作者: 沈丽如 童洪辉 许泽金 金凡亚 陈美艳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 15-5PH 多弧 TiN 维氏硬度 结合力
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 197-202
• 分类号: TQ153.2|TG17
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.03.01

摘要

对比不同的表面处理工艺,选择多弧离子镀方法在15-5 PH不锈钢基材表面制备TiN硬质涂层.分析制备工艺对膜层的表面硬度、膜/基结合强度、膜层结构等基本物理性能的影响,进行工艺优化.结果显示在预热温度高于200℃后,TiN膜层结晶效果较好；负偏压达到600V后,膜／基间“伪扩散”层出现,膜／基结合性能明显提高；工作气压升高,膜层表面硬度、膜／基结合力和沉积速率先升高后下降,分别在4.0,3.0和2.5Pa达到峰值.最终获得的TiN硬质膜层表面硬度大于2000HV0.05,膜／基结合力最小临界载荷高于70N.镀膜处理后,工件的各种性能测试均能满足具体使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美艳		17	34	4.0	4.0
2	金凡亚		57	226	8.0	12.0
3	沈丽如		52	377	11.0	16.0
4	童洪辉		51	520	10.0	21.0
5	许泽金		8	23	3.0	4.0