真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量(篇)
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  • 作者: 张以忱 李建军 贺佳 韩晶雪
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1169-1173
    摘要: 借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算.通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪.本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausi...
  • 作者: 冯焱 卢耀文 成永军 李得天 查良镇 赵澜 闫荣鑫 陈旭 齐京
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1174-1178
    摘要: 泄漏监测是在轨空间站长期可靠运行必须解决的难题,本文开展了方向规用于空间站检漏的应用基础研究.在地面真空实验系统上,用小孔向真空室引入气体模拟空间站泄漏,通过磁力传动系统改变方向规入口法线与...
  • 作者: 刘波 卢耀文 李得天 查良镇 陈旭 齐京
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1179-1183
    摘要: 针对现场检漏对漏率校准的需求,研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置.采用标准流量系统提供可调的气体流量,通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏...
  • 作者: 李辉 林河通 林艺芬 林钟铨 陈健凯
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1184-1190
    摘要: 探讨了杏鲍菇在不同微波强度、物料厚度和腔体绝对压力条件下的微波真空干燥特性,研究其干燥曲线和水分扩散速度;应用单因素试验数据对12种经验干燥模型进行拟合求解,确定适合的数学模型;采用三元二次...
  • 作者: 刘猛 王浚 高海朋
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1191-1198
    摘要: 为实现迅速抽真空,提出负压储备舱技术.结合流导方程和气体热力学理论,推导出舱体间气流平衡的数学方程式,揭示了气流平衡过程中,舱体间瞬时压差与起始状态压差、舱体容积成正比,与持续时间存在指数关...
  • 作者: 常亮 张国庆 李建军 黄英
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1199-1202
    摘要: 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点.但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等.本文提出了一...
  • 作者: 吕军慰 朱安石 陈自力 韦乃棋
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1203-1208
    摘要: 基于Boltzmann方程和天线理论建立了表面波激励等离子天线辐射方向图重构模型.研究了等离子天线的色散关系,仿真分析了等离子体密度对波矢量的影响以及折射率对等离子天线辐射方向图的影响.搭建...
  • 作者: 孙成琪 杨德明 陈振宇 高阳
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1209-1213
    摘要: 发射光谱研究是热喷涂等离子体诊断的一种重要的方法.通过使用发射光谱测量的氩原子在763.51和772.42 nm处谱线辐射强度的信息,采用双谱线法计算大气热喷涂等离子体射流的电子温度,研究纯...
  • 作者: 周雄图 张杰 张永爱 曾祥耀 林锑杭 郭太良
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1214-1218
    摘要: 利用磁控溅射、光刻和剥离技术在玻璃基底上成功制备了平栅型氧化锡表面传导电子发射源,并测试其场发射性能.扫描电镜和光学显微镜测试表明,沉积在阴极和栅极之间的氧化锡为不连续薄膜,直径大约在100...
  • 作者: 李建 王坤
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1219-1222
    摘要: 制作了一个平板等离子体紫外光源:以透明导电膜(ITO)玻璃作为前极板;与玻璃牢固结合、厚度为50mm的铝箔作为后极板,直接制备于铝箔上、厚度为20mm的多孔氧化铝作为介质.介绍了平板紫外光源...
  • 作者: 刁训刚 刘齐荣 肖宇 董国波 高方圆
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1223-1228
    摘要: 平面磁控溅射靶面水平磁感应强度对靶材刻蚀均匀性及其利用率等有着重要作用.为了提高靶面水平磁感应强度均匀性,在传统磁控溅射平面靶结构基础上,提出了一种采用加装两导磁片的结构,通过ANSYS软件...
  • 作者: 刘晓波 刘维 戴彬 王军生 王治安 童洪辉 韩大凯
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1229-1236
    摘要: 综述了反应磁控溅射技术的发展情况.分析了模拟反应磁控溅射的“Berg”经典模型;详述了反应磁控溅射过程中迟滞效应和打火现象的产生原理及过程;分析了消除迟滞效应和打火现象的各种方法并提出个人的...
  • 作者: 孙丽丽 张栋 柯培玲 汪爱英 王振玉 谢仕芳
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1237-1241
    摘要: 采用离子束辅助磁控溅射工艺制备CrNx薄膜,研究了不同氮气流量下薄膜微观形貌,组织结构以及力学性能的变化.采用台阶仪测量薄膜的厚度,采用场发射扫描电镜、扫描探针显微镜、X射线衍射仪测试薄膜的...
  • 作者: 但敏 尹星 沈丽如 许泽金 金凡亚
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1242-1245
    摘要: 主要研究了孪生磁控溅射技术制备不同含氮量的CrNx涂层,以及N2流量对涂层组织、结构性能、耐腐蚀性能的影响.试验设备采用自行研制的MSP-1000复合离子镀膜机,配置了四对孪生磁控溅射靶和对...
  • 作者: 吴湘君 张旭海 蒋建清 谈淑咏
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1246-1250
    摘要: 采用直流/射频磁控溅射法,在不同氮流量比条件下制备了CrN涂层.利用扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计和电化学测试系统研究了氮流量比对涂层组织和性能的影响,并对涂层腐蚀机制进行了初步探讨.研究...
  • 作者: 侯雪艳 巴德纯 徐彬 李建昌 王玉磊
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1251-1259
    摘要: 氧化镍薄膜因非挥发性、低功耗、开关重复性好及阻值窗口大等优势而成为广泛研究的阻变材料之一.本文从器件结构、阻变机理及影响因素等方面,综述了氧化镍薄膜阻变特性研究进展.结果表明:氧化镍薄膜阻变...
  • 作者: 庞海东 李松 杨尊先 郭太良
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1260-1265
    摘要: 以碳纳米管(CNTs)、锡酸钾(K2SnO3)、葡糖糖为原料,通过一步水热法并辅以简单的热处理工艺,制备出CCNTs/SnO2@C及CNTs/SnO2一维壳核结构复合纳米材料,随后对CNTs...
  • 作者: 丁召 刘珂 周勋 周清 王继红 罗子江 郭祥
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1266-1269
    摘要: 对吸附了大量As的InAs(001)样品进行升降温热处理,发现在485℃时表面有从(3×1)重构到(2×4)重构的不可逆转变现象.利用扫描隧道显微镜对(3×1)重构表面分析,结果表明大量常温...
  • 作者: 付绍军 涂吕星 王旭迪 葛良进 金建
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1270-1275
    摘要: 热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道.本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该方法利用UV胶带在紫外曝...
  • 作者: 张吉明 杨有才 王松 谢明
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  1276-1280
    摘要: 柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池以其生产成本低、光电转化率高以及更多的应用可能性等优势成为当前最具发展潜力的薄膜太阳能电池.对柔性衬底CIGS太阳电池的结构、特性以及衬底材料作了简单介...
  • 作者:
    发表期刊: 2013年12期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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