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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限
    作者： 肖祥正 薛大同
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  721-729
    摘要： 利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从...
  • 2. 密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响
    作者： 王庚林 肖祥正 薛大同
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  730-734
    摘要： 分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响.证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响.但是如果候检室环境大气氦分压显...
  • 3. 密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件
    作者： 王庚林 肖祥正 薛大同
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  735-743
    摘要： 密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法.对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别.本文给出了最长候检时间表...
  • 4. 复合材料构件真空气密性能的提升技术研究
    作者： 黄道明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  744-750
    摘要： 在简述某复合材料在空间领域的应用事例之后,指出改进真空气密性能的必要性.在归纳热固性树脂基复合材料真空气密性问题的特点之后,提出要使复合材料构件在真空度小于10-3 Pa等空间环境条件下漏率...
  • 5. 微型星用可变辐射器
    作者： 曹生珠 杨建平 王熙元 陈学康 韩闯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  751-754
    摘要： 微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用.国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件...
  • 6. 内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管烘烤排气工艺研究
    作者： 刘建明 周恒智
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  755-758
    摘要： 对内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管进行了9组烘烤排气实验,通过对比各组集热管在烘烤排气过程中的排气量及分析高温烘烤——加速老化实验数据,得到了其烘烤排气最佳工艺参数.9组实验中,450℃/50...
  • 7. 电致变色薄膜器件在空间中的应用前景
    作者： 吴春华 左华平 李林 王洁冰 王虎 许旻 谢二庆 赵印中
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  759-765
    摘要： 电致变色薄膜器件的光学性质可以随外加电场而发生可逆的变化,利用这种性质,电致变色薄膜器件可以广泛应用于建筑、汽车、航天等领域,在节能、热控等方面发挥作用.本文针对电致变色薄膜器件在空间飞行器...
  • 8. 真空环境中多场耦合对Au/Cu/Si薄膜界面结构的影响
    作者： 严楷 严谨 姚文清 曹江利 朱永法 李展平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  766-770
    摘要： 采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜.利用扫描俄歇微探针(SAM)纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu...
  • 9. 航天器柔性热控薄膜研究现状
    作者： 冯煜东 杨淼 王志民 王艺 王虎 赵慨
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  771-777
    摘要： 柔性热控薄膜材料广泛应用于各种航天器平台,其性能对维持航天器正常工作环境至关重要.本文针对空间热控技术发展要求,综述了国内外柔性热控薄膜材料的技术指标以及应用现状.介绍了国内外各种航天器上普...
  • 10. SrHfON高κ栅介质薄膜的漏电特性研究
    作者： 冯丽萍 刘正堂 王雪梅
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  778-782
    摘要： 采用射频反应磁控溅射法在p-Si(100)衬底上成功制备出SrHfON高k栅介质薄膜,并研究了Au/SrHfON/Si MOS电容的漏电流机制及应力感应漏电流(SILC)效应.结果表明,MO...
  • 11. 光谱拟合法确定一种钙钛矿结构薄膜材料的复数光学常数
    作者： 吴春华 左华平 张佰森 李林 王洁冰 许旻 赵印中 邱家稳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  783-786
    摘要： 为了获得一种钙钛矿结构镧锶锰氧La0.8Sr0.2MnO3薄膜材料的复数光学常数,利用光学薄膜原理和数学优化方法,并基于钙钛矿结构材料的色散模型,对磁控溅射技术制备的不同厚度的镧锶锰氧薄膜在...
  • 12. 掺杂不同比例Sr的La1-xSrxMnO3微结构研究
    作者： 吴春华 左华平 李林 杨丙文 王洁冰 许旻 赵印中 邱家稳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  787-790
    摘要： La1-xSrMnO3材料具有热致相变特性,成为具有潜在应用前景的空间小卫星热控功能材料.La1-xSrxMnO3是一种结构非常敏感性材料,掺杂比例对其结构和性能影响很大.本项研究中采用传统...
  • 13. W波段高频输出窗仿真与实验研究
    作者： 张长青 杨修东 王树忠 赵鼎 阮存军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  791-796
    摘要： 研究了W波段高频输出窗的工作特性及三个关键结构尺寸对工作特性的影响规律.结果表明,驻波比小于1.2的频带为94.21 ～ 94.76 GHz;驻波比小于1.1的频带为94.34～94.64 ...
  • 14. 非轴对称磁场对多级降压收集极性能的影响
    作者： 刘濮鲲 尚新文 李飞 王书见 肖刘 郭际
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  797-802
    摘要： 收集效率和回流率是体现多级降压收集极性能的两个重要指标,本文尝试在收集极表面加上一定弧度的磁钢贴片,以此在收集极内引入非轴对称磁场,通过调节磁场的大小和位置,观察磁场对收集极内电子运动轨迹的...
  • 15. GaAs/GaAlAs光阴极的XPS深度剖析
    作者： 冯刘 刘晖 史鹏飞 张连东 程宏昌 苗壮 陈高善 高翔
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  803-807
    摘要： GaAs光阴极是一种高性能光阴极,它由GaAs/GaAlAs外延片和玻璃基底粘接而成.为了了解外延片的元素深度分布和各层的均匀性,利用X射线光电子能谱和Ar离子刻蚀来进行深度剖析.结果表明,...
  • 16. W波段平面线形排列多注分布作用管谐振腔的研究
    作者： 王勇 王树忠 阮存军 韦雪真
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  808-811
    摘要： 通过三维仿真软件CST-MSW建立了平面线形排列的多注分布作用速调管五间隙谐振腔的物理模型,获得了结构参数对腔体的场形、特性阻抗等相关冷参数的影响.在工作模式频率相同的情况下,对平面线形排列...
  • 17. 同轴腔高功率多注速调管注-波互作用系统的模拟设计
    作者： 张瑞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  812-817
    摘要： 以同轴腔高功率多注速调管为研究对象,以大信号程序KLY及PIC粒子模拟软件对其多电子注-波互作用系统开展了一维初始设计、二维等效设计及全三维模拟设计.通过采用二次谐波腔技术及参数优化,使同轴...
  • 18. 辉光弧光协同共放电方式制备TiN薄膜的研究
    作者： 傅鹏飞 刘壮 林晶 钱锋
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  818-822
    摘要： 分别采用中频磁控溅射、电弧离子镀及辉光弧光协同共放电混合镀(APSCD)三种方式在碳钢基体上制备TiN薄膜,采用原子力学显微镜、显微硬度计、台阶膜厚仪、电化学技术对薄膜表面形貌、显微硬度、膜...
  • 19. GCr15钢表面激光硼化研究
    作者： 吴敢 杨建平 王瑞 陈学康 韦波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  823-825
    摘要： 在已经过常规淬火的GCr15轴承钢表面,利用脉冲Nd∶YAG激光进行了B4C粉末硼化改性处理.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度仪及摩擦磨损试验仪器对激光硼化处理后改性层的显微组织及...
  • 20. 低能斜入射离子束诱导单晶硅纳米结构与光学性能研究
    作者： 刘卫国 陈智利
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  826-831
    摘要： 为了研究低能Ar+离子束在不同入射角度下对单晶硅表面的刻蚀效果及光学性能,使用微波回旋共振离子源,对单晶Si(100)表面进行刻蚀,采用原子力显微镜、非接触式表面测量仪和傅里叶变换红外光谱仪...
  • 21. ICP深硅刻蚀工艺研究
    作者： 展明浩 王文靖 皇华 胡潇 许高斌 陈兴 黄晓莉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  832-835
    摘要： 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是微机电系统器件加工中的关键技术之一.利用英国STS公司STS Multiplex刻蚀机,研究了ICP刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化周期、气体流量等工...
  • 22. Nb1-xWxSe2的制备及其摩擦学性能研究
    作者： 唐华 张毅 李长生 梁家青 胡志立 陈帅 陈琳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  836-840
    摘要： 通过W掺杂固相合成Nb1-xWxSe2,采用X射线衍射、扫描电镜、透射电子显微镜分析了样品中的相成分、微观形貌和元素成分；结果表明随着W掺杂量的增加,其形貌有较大的不同:形貌由规则的微米六方...
  • 23. 新型双通道日夜滤光片的设计与镀制
    作者： 熊玉卿 王多书 王济洲 王超 董茂进 陈焘
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  841-843
    摘要： 红外相机和监控系统在日夜成像时使用日夜滤光片代替红外截止滤光片,以保证白天成像无色差,同时晚上能成黑白像.本文采用Essential Macleod软件设计新型双通道日夜滤光片光谱.光谱中4...
  • 24. 一种窄带导模共振负滤光片的设计
    作者： 熊玉卿 王宽 王济洲 董茂进
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  844-847
    摘要： 由于弱调制光栅可以等效为平面波导,本文从平面波导的本征方程出发,导出垂直入射时弱调制光栅共振位置的表达式.分别以单层、双层膜系导模共振光栅结构为例,研究了光栅层厚度、周期、占空比对共振波长的...
  • 25. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年8期
    页码:  848
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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