氧化镍薄膜阻变特性研究进展

• 作者: 侯雪艳 巴德纯 徐彬 李建昌 王玉磊
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镍薄膜 阻变特性 开关机理 器件结构 导电细丝
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 1251-1259
• 分类号: TQ630.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.12.16

摘要

氧化镍薄膜因非挥发性、低功耗、开关重复性好及阻值窗口大等优势而成为广泛研究的阻变材料之一.本文从器件结构、阻变机理及影响因素等方面,综述了氧化镍薄膜阻变特性研究进展.结果表明:氧化镍薄膜阻变机理主要为金属细丝或空位细丝,但有关细丝形成条件仍无定论;引入PN结的夹层薄膜结构因形成界面缺陷可使开关比提高三个数量级到105;高价元素替位掺杂致薄膜内Ni0浓度增大而降低其阻变离散性;薄膜厚度及退火温度与时间可明显影响其阻变阈值电压.目前有关氧化镍薄膜阻变特性研究较多,下一步可将小尺度器件、低功耗及高密度集成纳米晶阻变特性作为研究方向,深入讨论其阻变机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
2	徐彬	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	39	214	9.0	13.0
3	李建昌	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	42	214	9.0	13.0
4	侯雪艳	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	8	42	4.0	6.0
5	王玉磊	东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心	3	11	2.0	3.0