改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备

• 作者: 武锦涛 王恩俊 王泽武 郭丹 银建中
• 来源期刊: 当代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能级多晶硅 改良西门子法 生产设备 节能高效
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 912-916,966
• 页数: 6页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3780字
• 语种: 中文

摘要

随着人们对太阳能资源的开发和深入研究，作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展。在对多晶硅生产工艺改进的同时，其生产设备也得到相应的改进和更新。就改良西门子法多晶硅生产过程中的不同工序和不同工艺的主要生产设备进行探讨，比较其优缺点，并介绍相应的改进方法以获得更优的生产效率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	银建中	大连理工大学化工机械学院	112	1083	19.0	26.0
2	王恩俊	大连理工大学化工机械学院	5	69	4.0	5.0
3	王泽武	大连理工大学化工机械学院	20	89	5.0	8.0
4	武锦涛	大连理工大学化工机械学院	10	76	5.0	8.0
5	郭丹	大连理工大学化工机械学院	3	33	3.0	3.0