NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作

• 作者: 刘俊 唐军 张斌珍 李向红
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: NOA73 曲面微透镜阵列 光刻胶熔融法 PDMS 光学特性
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 292-296
• 页数: 5页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文

摘要

为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术.首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统一的聚焦特性和光滑度；通过比较NOA73、PDMS两种平面微透镜阵列的聚焦效果,得到NOA73材料具有更好的光学性能；然后利用PDMS的柔韧特性和NOA73紫外曝光固化的特性制作出曲面微凸透镜阵列；最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,结果表明,通过上述工艺制作的曲面微凸透镜阵列,最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,可知通知这种工艺制作的曲面微透镜阵列的尺寸达到微米,光学性能优秀,透光率基本达到100％,具有很好的重复性,可行性且制作简单、快速和低成本,并能模仿复眼结构的部分光学特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊		181	1162	17.0	24.0
2	张斌珍		107	535	12.0	18.0
3	唐军		64	114	5.0	9.0
4	李向红		5	18	3.0	4.0