基于数字微镜的并行激光共焦显微检测技术研究

• 作者: 余锦 吴权 樊仲维 涂龙 王治昊 葛文琦 赵天卓 邱基斯 郭广妍
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 并行共焦显微 数字微镜 三维图像重构 形貌测量
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 医用光学与生物技术
• 页码范围: 139-146
• 页数: 8页
• 分类号: TH742
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP50.101702

摘要

为了对微纳加工工件进行三维形貌测量,建立了基于数字微镜的并行激光共焦显微检测系统.首先,利用衍射光学对数字微镜的夫琅禾费衍射模型进行了研究.接着,利用数字微镜实现扫描像素单元为2×2,周期为T=3的并行扫描模式.然后对三维图像重构算法和激光散斑匀化进行了分析.最后,利用该系统分别对镀膜平板、WSZ位置灵敏阳极探测器以及螺钉进行了三维测量.实验结果表明,在轴向平移台步距为10 nm的条件下,该系统能准确重构出样品三维形貌.该共焦显微检测方法能大大提高共焦扫描速度,能很好地满足一般工业检测需求,本文为并行共焦检测技术提供了一条新的研究和应用方法.