钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺研究

• 作者: 单连聚 孟凡涛 潘光慎 王珊 蒋文娟
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝陶瓷基片 金属化 脱脂
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 2366-2369
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2876字
• 语种: 中文

摘要

采用热分析、显微分析、扫描电镜分析等方法对样品进行检测,研究了钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺,确定了合理的脱脂升温制度和脱脂气氛.结果表明,脱脂升温速率为1～2℃/min,并于215℃、350℃保温15min,脱脂后样品光滑平整,宏观无缺陷;湿氢气气氛下脱脂可以将有机成分完全排除,避免了出现碳残余、金属化层被氧化以及脱层等问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟凡涛	山东理工大学材料科学与工程学院	22	95	4.0	9.0
2	蒋文娟	山东理工大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0
3	潘光慎	山东理工大学材料科学与工程学院	2	5	2.0	2.0
4	王珊	山东理工大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0
5	单连聚	山东理工大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0