退火时间对Cu-Al-O薄膜性能影响的研究

• 作者: 冯丽萍 刘正堂 田浩 高倩倩
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 物理学
• 关键词: Cu-Al-O薄膜 退火时间 透过率
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2179字
• 语种: 中文

摘要

通过制备Cu-Al-O薄膜并对其进行退火处理,研究了退火时间对薄膜形貌、结构以及紫外-可见透过率、带隙、中红外透过率的影响.研究结果表明:随着退火时间的增加,薄膜开始晶化,5.0h时薄膜中出现裂纹,同时出现AlCu合金相；紫外-可见透过率随退火时间的增加而降低；中红外透过率随退火时间的增加先增加后降低；Cu-Al-O薄膜的直接带隙随退火时间的增加而降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正堂	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	120	749	14.0	21.0
2	冯丽萍	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	45	159	7.0	9.0
3	田浩	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	8	19	2.0	4.0
4	高倩倩	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	2	2	1.0	1.0