微机电系统微尺度间隙的脉冲击穿特性

• 作者: 吴锴 孟国栋 孟永鹏 成永红 酉小广
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 纳秒脉冲 电气击穿 微间隙 流注理论 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率技术
• 页码范围: 1867-1872
• 页数: 6页
• 分类号: TM855
• 字数: 3155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132507.1867

摘要

利用微机电系统(MEMS)工艺制备了5～40 μm间隙的金属铝薄膜电极,测取了不同间隙下施加纳秒方波脉冲时的击穿电压,得到击穿电压和平均场强随电极间隙的变化规律,研究了脉宽、极性对击穿电压的影响,结合击穿后微电极扫描电镜观察结果讨论了其击穿机理,并与相同试样在直流下的结果进行了对比.研究表明:击穿电压随微间隙距离的增大而增大,击穿场强则随着间隙的增大迅速减小；与直流同间隙的击穿电压相比,脉冲作用下的击穿电压并不像宏观尺度下那样高出很多；试样击穿机理应为流注理论.在脉冲作用下,阳极出现了分层熔化现象,由于作用时间很短,阳极表面并未出现类似于直流击穿时留下的“坑洞”；阴极则出现了溅射沉积现象,只是沉积物质相对较少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成永红	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	78	1073	18.0	27.0
2	吴锴	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	71	1014	20.0	28.0
3	孟国栋	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	8	43	4.0	6.0
4	孟永鹏	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	19	421	11.0	19.0