带有Si3N4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合

• 作者: 刘琦 曾毅波 林智鑫 王盛贵 郭航
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极键合 Si3N4薄膜 玻璃-硅-玻璃 三层键合
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 63-66,70
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 4574字
• 语种: 中文

摘要

为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃-硅-玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究；设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,研究表明:当采用键合温度为400℃,电压为1200V,压力为450Pa,可获得键合面积大于90％的带有Si3N4薄膜的三层阳极键合结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭航	厦门大学物理与机电工程学院	34	112	6.0	8.0
5	王盛贵	厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院	2	5	1.0	2.0
6	曾毅波	厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院	10	53	4.0	7.0
7	刘琦	厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院	7	12	2.0	3.0
8	林智鑫	厦门大学物理与机电工程学院	1	4	1.0	1.0