金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线

• 作者: 姚日晖 王志恒 陈梓铭 陈津桥 陈颖聪
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属催化化学腐蚀 硅 纳米线
• 年，卷（期）: 2013,（23）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TB34|TM23
• 字数: 3724字
• 语种: 中文

摘要

主要阐述采用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线.首先介绍了金属催化化学腐蚀法的基本原理和条件,然后探讨了催化金属的种类、腐蚀时间、腐蚀液浓度、硅衬底的晶向、掺杂浓度等各种因素对金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈梓铭	华南理工大学材料科学与工程学院	4	1	1.0	1.0
5	王志恒	华南理工大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
6	陈颖聪	华南理工大学材料科学与工程学院	23	85	6.0	8.0
7	陈津桥	华南理工大学材料科学与工程学院	3	11	1.0	3.0
8	姚日晖	华南理工大学材料科学与工程学院	20	41	4.0	6.0