利用同步测量研究二氧化钒薄膜的电学与光学相变特性

• 作者: 刘剑 姬扬 杨伟 梁继然
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 二氧化钒薄膜 电学方法 光学方法 同步测量 反射率
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 426-429
• 页数: 4页
• 分类号: O484|O472
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2014.00426

摘要

利用射频磁控溅射方法在蓝宝石衬底上制备了氧化钒薄膜,X射线衍射的测量结果表明薄膜的主要成分是多晶二氧化钒.实现了二氧化钒薄膜半导体-金属相变过程的电阻和五个不同波长下薄膜反射率的同步测量.实验结果表明,电学和光学测量都在相变过程中出现回滞曲线,但是二者的表现形式有明显差别.当用光学方法探测时,同一次相变过程中不同区域的反射率曲线几乎完全重合,证明了薄膜样品的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘剑	中国科学院半导体研究所	66	379	12.0	17.0
2	杨伟	中国科学院半导体研究所	27	58	5.0	6.0
3	梁继然	中国科学院半导体研究所	31	108	6.0	8.0
7	姬扬	中国科学院半导体研究所	42	12	2.0	2.0