面向角速度传感系统的微球腔实验研究

• 作者: 张蔚云 甄国涌 薛晨阳 郑永秋 闫树斌
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 微球腔 锁频 扫频 调制
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TN219|TN815
• 字数: 2955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.01.006

摘要

微腔角速度传感系统是新一代光学传感器的代表。提出一种面向角速度传感系统的微球腔,其中微球腔作为核心部件直径约为1 mm,根据测量及相关公式计算,半高全宽为10.5 MHz,自由谱宽65.89 GHz,Q值1.84×107,精细度为6.26×103。微球腔特有的高Q值、高分辨率、制备简单等性能,使其具有长远的发展前景。详细介绍了整个系统的工作原理,并通过使用不同波形、不同频率的扫频及调制信号进行实验,对比透射曲线和鉴频曲线的形态,获得在球腔系统中的最适参数。经验证,使用频率为10 Hz的正弦波进行扫频,1 MHz的三角波作为进行调制,能够使系统处于更优的状态。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	甄国涌	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	99	529	11.0	16.0
2	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	闫树斌	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	33	65	5.0	6.0
4	张蔚云	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	12	3.0	3.0
5	郑永秋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	27	80	4.0	8.0