硅微静电悬浮陀螺微位移检测电路噪声分析

• 作者: 严小军 徐超 桑文华 马高印
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械静电悬浮 电容式位移检测 低噪声 电路优化
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: U666.1
• 字数: 2477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2014.01.006

摘要

硅微静电悬浮惯性仪表主要面向空间应用,如卫星无拖曳控制,星载重力测量等,具有潜在分辨率高、功耗低、体积小、多轴集成等特点.仪表的高分辨率实现对检测电路的噪声提出了较高要求.本文以硅微静电悬浮陀螺仪单频调幅电容式微位移检测电路为例,从电路外部干扰噪声耦合机理及抑制、电路内部噪声分析及优化两个方面,给出了电源耦合噪声、电路温度特性以及放大器电路噪声分析优化等方面的理论推导、仿真及实验验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严小军		36	54	5.0	6.0
2	徐超		15	23	3.0	3.0
3	马高印		8	13	2.0	2.0
4	桑文华		5	7	2.0	2.0