锰钴镍氧薄膜热敏型多元红外探测器研制

• 作者: 侯云 周炜 张雷博 褚君浩 黄志明
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锰钴镍氧薄膜 热敏材料 线列焦平面
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 359-363
• 页数: 5页
• 分类号: TN21
• 字数: 2855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2014.00359

摘要

通过光刻和湿化学腐蚀工艺,成功制作出规格为2×8的多元锰钴镍氧薄膜红外探测器件.测试表明,室温下锰钴镍氧薄膜材料负电阻温度系数达-3.8％K-1.10 Hz调制频率和±15 V电压偏置条件下,线列器件典型探测元黑体响应率为107 V/W,探测率为2×107cmHz1/2/W,8元器件响应不均匀度为5.9％.实验结果表明锰钴镍氧薄膜焦平面器件制备的可行性,有可能作为新型室温全波段探测器件得到应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志明	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	43	424	10.0	19.0
2	褚君浩	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	103	650	13.0	22.0
3	周炜	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	18	115	6.0	10.0
4	侯云	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	7	18	3.0	3.0
5	张雷博	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	1	3	1.0	1.0