真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

• 作者: 齐立涛
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: Nd∶YAG固体激光 激光波长 单晶硅 烧蚀阈值
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 激光技术与应用
• 页码范围: 442-448
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 字数: 4095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140703.0442

摘要

通过倍频Nd∶YAG固体激光的基波得到波长分别为532、355和266 nm的激光，研究了单晶硅（ Si）对不同波长固体激光的吸收规律和3种不同波长激光在真空条件下烧蚀单晶Si的烧蚀特征。结果表明，单晶Si 对波长为100～370 nm的紫外激光具有很好的吸收效果；在其他条件相同时，532 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（ Ep ＝30μJ）是355和266 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep ＝15μJ）的2倍；532、355和266 nm的激光烧蚀单晶Si的烧蚀阈值随着波长的变短而变小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐立涛	黑龙江科技大学机械工程学院	21	69	6.0	7.0