激光刻蚀半球型铂电阻的定位研究

• 作者: 刘济春 吴云峰 吴波 孔荣宗 肖红云
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光刻蚀 视频定位 热流传感器
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 321-324
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TM544
• 字数: 2106字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.008

摘要

为了在半圆周上准确进行激光刻蚀，以刻制热流传感器的半球形铂电阻，满足热流测点的精确定位，采用了一种基于视觉成像系统定位加工点的方法，进行了理论分析和实验验证，取得了铂电阻较高的定位数据。该方法首先通过背光照明使半球边缘轮廓清晰可见，通过提取边缘上的4个点坐标，计算并定位到半球顶点；旋转平台，补偿偏差值，实现精确定位加工点；最后对成型的半球形热流传感器电阻位置进行测量验证。结果表明，该方法具有良好的定位效果，刻蚀制作的球半径相对误差约为0．39％，载物平台旋转角度相对误差控制在3．9％，解决了定位半球顶点问题，提高了刻蚀精度。这一结果对于利用激光刻蚀机在曲面模型上刻蚀形成铂电阻是有帮助的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	孔荣宗	中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所	12	61	5.0	7.0
3	吴波	电子科技大学光电信息学院	17	73	6.0	7.0
4	刘济春	中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所	8	32	4.0	5.0
5	肖红云	中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所	2	7	2.0	2.0