基于双目视觉的硅棒直径测量方法

• 作者: 刘祥 吴海滨 庞剑 李梓霂 熊丹枫 陈新兵
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅棒直径 相机标定 立体匹配 三维坐标
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光电技术
• 页码范围: 401-408
• 分类号: TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2014.05.011

摘要

提出了一种在实验室环境下模拟工业现场在线测量多晶硅还原炉内硅棒直径的检测系统.该系统采用双目立体视觉测量的方法,首先采用双CCD获取硅棒模型的实时图像,并依次进行摄像机的标定、特征点的提取、立体匹配、然后通过特征点的三维坐标计算硅棒模型的直径.实验结果表明,硅棒直径的测量结果达到了还原炉工艺参数自动化控制所需的精度,并且该测量系统有效地避免了人工长时间目测造成的劳动强度大以及由于主观因素造成误差较大的缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴海滨	安徽大学物理与材料科学学院	58	508	11.0	20.0
2	陈新兵	安徽大学物理与材料科学学院	18	57	4.0	7.0
3	熊丹枫	安徽大学物理与材料科学学院	6	12	2.0	3.0
4	刘祥	安徽大学物理与材料科学学院	2	11	2.0	2.0
5	庞剑	安徽大学物理与材料科学学院	4	3	1.0	1.0
6	李梓霂	安徽大学物理与材料科学学院	3	11	2.0	3.0