压电驱动器的开闭环迭代学习控制

• 作者: 李佩玥 李朋志 杨怀江 葛川 闫丰 隋永新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 PZT 开闭环 迭代学习控制 迟滞
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 414-419
• 页数: 6页
• 分类号: TP273.1|TN384
• 字数: 2855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0414

摘要

由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度.首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件.然后,设计了用于PZT系统的离散开闭环迭代学习控制器.最后,针对50 Hz单频和25 Hz+50Hz复频三角波轨迹进行了跟踪控制实验.实验结果表明:所提出的迭代学习控制器对上述2种轨迹的最大跟踪误差分别为10.6 nm和12.5 nm,相对于PID控制器,分别降低了96.25％和95.62％.结果显示:提出的控制方法易于实现,无需准确的PZT迟滞和系统模型就可以获得很高的跟踪精度,能有效地满足高频和复频轨迹跟踪的精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
2	李佩玥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	273	10.0	14.0
3	闫丰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	20	133	7.0	10.0
4	李朋志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	66	4.0	8.0
5	葛川	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	99	5.0	7.0