多弧离子镀制备TiN/TiBN纳米复合涂层的结构和性能

• 作者: 付德君 刘丹 柯贤文 王浪平 闫少健 韩滨
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiN/TiBN纳米复合涂层 膜基结合力 摩擦因数
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 102-108
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.013

摘要

为了满足复合材料高速切削加工的需要,用金属Ti靶和纯TiB2靶作为靶材料,在N2气氛下用多弧离子镀方法制备了TiN/TiBN纳米复合涂层.利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析涂层的组织结构、成分和表面形貌;利用显微硬度计、划痕仪和球盘摩擦仪分析调制周期对涂层力学性能的影响.结果表明:TiN/TiBN纳米复合涂层的调制周期范围为5.5～21 nm,主要成分为晶相TiN、非晶BN和TiB2;调制周期对涂层的力学性能有较大的影响,随着调制周期的减小,硬度增加,调制周期最小时最大硬度达到29 GPa;最大膜基结合力为88 N,且所有样品均表现出较高的膜基结合力.随着转速的增大,摩擦因数与表面粗糙度两者表现出相同的变化趋势,摩擦因数最大值为0.31,其低摩擦因数与自润滑的BN相的存在有关.调制周期减少,界面积增加,TiN/TiBN纳米复合涂层的力学性能增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王浪平	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	42	276	9.0	14.0
2	刘丹	武汉大学印刷与包装系	78	413	12.0	17.0
3	付德君	武汉大学印刷与包装系	28	94	6.0	8.0
4	闫少健	武汉大学印刷与包装系	5	25	3.0	5.0
5	韩滨	武汉大学印刷与包装系	3	12	3.0	3.0
6	柯贤文	武汉大学印刷与包装系	9	47	3.0	6.0