LTCC高温压力传感器温漂特性研究

• 作者: 张文栋 熊继军 王晓龙 纪夏夏 罗涛 薛晨阳 谭秋林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC 无线无源压力传感器 相对介电常数 谐振频率 温度漂移
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 化学与物理类传感器
• 页码范围: 190-193
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.02.008

摘要

研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统，对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试，结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试，通过对比分析，确定了造成传感器温漂的主要原因是LTCC材料相对介电常数的变化。结合测试数据和公式推导，得出了600℃时杜邦951 LTCC材料的相对介电常数由常温7.8增大到9.04。