CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感

• 作者: 付博 卢冲赢 徐立新 李建华 欧修龙
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 兵器科学与技术 微机电系统 CMOS兼容工艺 悬浮片上螺旋电感 Q值 无线电引信
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 634-639
• 页数: 6页
• 分类号: TN40|TN405
• 字数: 4164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.05.009

摘要

利用微机电系统(MEMS)表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性.通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因素,显著提高了片上螺旋电感Q值.采用电磁场有限元分析软件HFSS对该电感模型进行了仿真研究,完成了悬浮片上螺旋电感的制备并进行了测量.测量结果表明:所设计的CMOS兼容MEMS悬浮片上螺旋电感Q值在1～7.6GHz测量频段均大于20,在7.4 GHz频段最大值达到了38.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐立新	北京理工大学机电动态控制重点实验室	47	433	11.0	18.0
2	李建华	北京理工大学机电动态控制重点实验室	6	16	3.0	4.0
4	卢冲赢	北京理工大学机电动态控制重点实验室	2	7	1.0	2.0
7	付博		1	6	1.0	1.0
8	欧修龙		1	6	1.0	1.0