硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究

• 作者: 丁勇 刘泽文 刘理天 李志坚
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 电感 Q值 多孔硅 牺牲层
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1597-1600
• 页数: 4页
• 分类号: TM55|TN305
• 字数: 3898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2002.11.005

摘要

本文系统分析了影响平面螺旋电感Q值的主要因素,并制作出一种应用于射频通信的硅微机械悬浮结构电感.在考虑趋肤效应、涡流损耗等高频电磁场效应对电感Q值的影响后,获得了微机械电感的简化电学模型,得到了具有较高Q值电感的优化结构.在制作硅微机械电感的工艺过程中,采用多孔硅作为牺牲层材料,将螺旋结构铝线圈制作在二氧化硅薄膜上,在使用添加了硅粉和过硫酸铵的TMAH溶液释放牺牲层之后,得到设计值为4nH的悬浮结构微机械平面螺旋电感.实验结果证明,整个工艺流程可靠,并与CMOS工艺兼容.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	刘泽文	清华大学微电子学研究所	50	169	7.0	10.0
3	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
4	丁勇	清华大学微电子学研究所	8	163	6.0	8.0