退火过程中Si的扩散行为研究

• 作者: 张芬萍 李慧 李运刚 梁精龙
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: 退火 Si原子扩散 扩散系数
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 30-32,41
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.12
• 字数: 2576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2014.04.009

摘要

研究了电沉积试样的高温退火过程中,不同退火条件下试样中断面层Si原子的扩散.通过理论计算得出Si原子的扩散系数,分析退火条件对Si原子扩散的影响.结果表明:通过高温退火扩散可以促进试样中浓度的均一化分布;随着退火温度的升高,Si在试样中的扩散系数明显增大;退火温度一定时,延长退火时间可以得到Si浓度均匀分布的硅钢薄板.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李慧	河北联合大学冶金与能源学院现代冶金技术教育部重点实验室	38	65	5.0	7.0
2	李运刚	河北联合大学冶金与能源学院现代冶金技术教育部重点实验室	55	232	8.0	13.0
3	梁精龙	河北联合大学冶金与能源学院现代冶金技术教育部重点实验室	10	35	4.0	5.0
4	张芬萍	河北联合大学冶金与能源学院现代冶金技术教育部重点实验室	3	2	1.0	1.0