MEMS穿孔板微执行器Pull-in特性分析

• 作者: 付文文 刘婷 方玉明
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 微执行器 静态 穿孔板 Pull-in特性
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 395-398
• 页数: 4页
• 分类号: TN703
• 字数: 2329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2014.03.004

摘要

研究MEMS穿孔板微执行器Pull-in特性,分别推导忽略边缘效应模型和考虑边缘效应模型的穿孔板静电微执行器的Pull-in机理,并结合ANSYS软件有限元法计算同一器件的Pull-in参数,分析3种模型结果。得到：不考虑边缘效应影响时,Pull-in参数误差随孔大小的减小而增大,随着初始间距的增大而增大。考虑边缘效应模型在一定的范围内具有良好的精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方玉明	南京邮电大学电子科学与工程学院	52	140	6.0	8.0
2	付文文	南京邮电大学电子科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
3	刘婷	南京邮电大学电子科学与工程学院	2	3	1.0	1.0