基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
研究MEMS穿孔板微执行器Pull-in特性,分别推导忽略边缘效应模型和考虑边缘效应模型的穿孔板静电微执行器的Pull-in机理,并结合ANSYS软件有限元法计算同一器件的Pull-in参数,分析3种模型结果。得到:不考虑边缘效应影响时,Pull-in参数误差随孔大小的减小而增大,随着初始间距的增大而增大。考虑边缘效应模型在一定的范围内具有良好的精度。
推荐文章
MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析
静电微执行器
动态
Pull-in参数
ANSYS
压膜阻尼效应
一种磁微执行器Pull-in模型
微执行器
Pull-in
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 MEMS穿孔板微执行器Pull-in特性分析
来源期刊 电子器件 学科 工学
关键词 微机械 微执行器 静态 穿孔板 Pull-in特性
年,卷(期) 2014,(3) 所属期刊栏目 固态电子器件及材料
研究方向 页码范围 395-398
页数 4页 分类号 TN703
字数 2329字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1005-9490.2014.03.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 方玉明 南京邮电大学电子科学与工程学院 52 140 6.0 8.0
2 付文文 南京邮电大学电子科学与工程学院 1 2 1.0 1.0
3 刘婷 南京邮电大学电子科学与工程学院 2 3 1.0 1.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (36)
共引文献  (40)
参考文献  (14)
节点文献
引证文献  (2)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1937(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1987(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1990(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1995(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1997(5)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(3)
1998(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1999(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2001(8)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(6)
2002(7)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(6)
2003(4)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(2)
2004(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2005(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2006(6)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(5)
2007(3)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(3)
2008(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2009(3)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(2)
2011(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2012(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2014(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2014(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2019(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
微机械
微执行器
静态
穿孔板
Pull-in特性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子器件
双月刊
1005-9490
32-1416/TN
大16开
南京市四牌楼2号
1978
chi
出版文献量(篇)
5460
总下载数(次)
21
总被引数(次)
27643
论文1v1指导