大行程纳米级两级驱动三维精密位移系统的设计

• 作者: 但斌斌 王生怀 邓小雯 陈育荣
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 三维精密位移系统 粗、精两级驱动 闭环控制 纳米级 计量系统
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-4,8
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 3161字
• 语种: 中文

摘要

采用粗精两级驱动的方式设计了大行程纳米级三维精密位移系统.位移系统的粗驱动通过采用PID自适应控制器控制伺服电机加精密丝杠拖动一维工作台来完成,位移系统的精驱动通过层叠型的压电陶瓷位移器(PZT)来完成.采用程序控制法实现μm级和nm级两级驱动的匹配.设计了基于迈克尔逊干涉原理的可溯源的计量系统,两级驱动的定位检测都由该计量系统来检测,减小了累积误差,并运用实验验证了位移系统的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王生怀	湖北汽车工业学院机械工程学院	43	105	6.0	8.0
2	陈育荣	湖北汽车工业学院机械工程学院	32	113	5.0	9.0
3	但斌斌	武汉科技大学机械自动化学院	79	351	9.0	15.0
4	邓小雯	武汉科技大学机械自动化学院	11	20	4.0	4.0