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华中科技大学学报(自然科学版)期刊
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晶圆切割和随机缺陷驱动的掩模设计方法
晶圆切割和随机缺陷驱动的掩模设计方法
作者:
史峥
叶翼
朱椒娇
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
集成电路制造
计算机辅助设计
模拟退火
掩模设计
晶圆切割
随机缺陷
成品率模型
摘要:
针对现有掩模设计方法的不足,提出了同时考虑晶圆切割和随机缺陷的掩模设计方法.在预估边到边晶圆切割引起的成品率丢失的同时,将随机缺陷引起的成品率丢失也纳入了设计参考量.对掩模上芯片进行布局规划的阶段,使那些由于随机缺陷造成成品率丢失较高的芯片在布局规划的目标函数中拥有较大的权重.这些芯片会在模拟退火算法迭代的过程中被自动放置在相应的与其他芯片较少切割冲突的位置,避免了后期晶圆切割对其产量造成的损失.此方法均衡了芯片之间的产量,在满足各个芯片需要产量的前提下,减少了生产所需的晶圆数量.与最小化掩模面积的设计方法和只考虑晶圆切割的设计方法比较,该方法使生产所需要的晶圆数量分别减少了15.22%和7.14%.
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晶圆分割
直线检测
形状配准
仿射迭代最近点
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
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相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
晶圆切割和随机缺陷驱动的掩模设计方法
来源期刊
华中科技大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
集成电路制造
计算机辅助设计
模拟退火
掩模设计
晶圆切割
随机缺陷
成品率模型
年,卷(期)
2014,(3)
所属期刊栏目
电子与信息工程
研究方向
页码范围
37-41
页数
5页
分类号
TN4
字数
语种
中文
DOI
10.13245/j.hust.140309
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
史峥
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
51
176
7.0
11.0
2
叶翼
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
2
2
1.0
1.0
3
朱椒娇
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
1
2
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(8)
共引文献
(2)
参考文献
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节点文献
引证文献
(2)
同被引文献
(8)
二级引证文献
(0)
1983(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1984(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1986(1)
参考文献(0)
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参考文献(1)
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参考文献(0)
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参考文献(0)
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参考文献(1)
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参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2015(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2020(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
集成电路制造
计算机辅助设计
模拟退火
掩模设计
晶圆切割
随机缺陷
成品率模型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
华中科技大学学报(自然科学版)
主办单位:
华中科技大学
出版周期:
月刊
ISSN:
1671-4512
CN:
42-1658/N
开本:
大16开
出版地:
武汉市珞喻路1037号
邮发代号:
38-9
创刊时间:
1973
语种:
chi
出版文献量(篇)
9146
总下载数(次)
26
总被引数(次)
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