透明导电氧化物AZO薄膜的制备与性能研究

• 作者: 马学军 齐东丽
• 来源期刊: 电脑知识与技术：学术交流
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 电阻率 透过率 AZO 薄膜
• 年，卷（期）: 2014,（3X）
• 页码范围: 2107-2109
• 页数: 3页
• 分类号: TQ133.1

摘要

利用直流磁控溅射法,采用氧化锌铝(98%ZnO+2%Al2O3)为靶材,在普通载玻片上制备了AZO(Z n O:Al)薄膜。采用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析,采用分光光度计和四探针法对薄膜的光电学性能进行了测试。结果表明:控制好工艺参数可以制备出致密、均匀并具有良好的光电性能的AZO薄膜;并计算了带隙能量和折射率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马学军	沈阳理工大学理学院	11	31	2.0	5.0
2	齐东丽	沈阳理工大学理学院	10	11	1.0	3.0