铜基体预沉积铜-金刚石复合过渡层金刚石膜的制备与表征

• 作者: 刘仲武 周克崧 曾德长 胡志刚 邱万奇
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: 金刚石膜 复合层 电镀 粘结 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 758-763
• 页数: 6页
• 字数: 632字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(14)63122-8

摘要

在铜基体表面电沉积铜-金刚石复合过渡层，采用电镀铜加固突出基体表面的金刚石颗粒，最后利用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在复合过渡层上沉积大面积的与基体结合牢固的连续金刚石膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱和压痕试验对所沉积的金刚石膜的表面形貌、内应力及膜/基结合性能进行研究。结果表明：金刚石膜由粗大的立方八面体颗粒与细小的(111)显露面颗粒组成，细颗粒填充在粗颗粒之间，形成连续的金刚石膜。复合过渡层中的露头金刚石经 CVD 同质外延生长成粗金刚石颗粒，而铜表面与粗金刚石之间的二面角上的二次形核繁衍长大成细金刚石颗粒。金刚石膜/基结合力的增强主要来源于金刚石膜与基体之间形成镶嵌咬合和较低的膜内应力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾德长	华南理工大学材料科学与工程学院	127	548	11.0	17.0
2	邱万奇	华南理工大学材料科学与工程学院	67	339	9.0	15.0
3	刘仲武	华南理工大学材料科学与工程学院	68	127	6.0	8.0
4	周克崧	华南理工大学材料科学与工程学院	48	796	18.0	26.0
6	胡志刚	华南理工大学材料科学与工程学院	3	28	2.0	3.0