电弧分区特征对金刚石形核的影响

• 作者: 刘金龙 左振博 朱瑞华 李成明 郭建超 闫雄伯 陈良贤 魏俊俊 黑立富
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧分区 形核 金刚石
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 2515-2521
• 页数: 7页
• 分类号: TG74
• 字数: 2488字
• 语种: 中文

摘要

在直流电弧等离子体喷射CVD法制备金刚石膜中,电弧可分为弧心、弧干、弧边三个区域.本文主要阐述了电弧的分区特征,讨论电弧区域特征对金刚石形核的影响.同时,以电弧分区特征为基础,探讨了预处理方式和温度对金刚石形核的关联影响.结果表明:形核初期对应于TiC粉的Raman谱,衬底的钛过渡层表面形成了TiC的过渡层,弧心区域金刚石形核迅速,形核密度较高,而在弧边区域金刚石形核缓慢,形核密度相对较低.