固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用

• 作者: 居志兰 徐俊 朱永伟 王建彬 谢春祥
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 固结磨料 研磨液 乙二醇 蓝宝石晶片
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3004-3011
• 页数: 8页
• 分类号: O786|TN305.2
• 字数: 4486字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142211.3004

摘要

开展了固结磨料研磨单晶蓝宝石面板的实验研究,探索了不同研磨液对材料去除速率和工件表面质量的影响.分析了研磨液对蓝宝石表面的化学作用,探索了固结磨料研磨蓝宝石晶体的材料去除机理.实验显示:使用W14镀镍金刚石固结磨料研磨蓝宝石单晶,研磨液仅为去离子水时,材料去除率(MRR)为149.8 nm/min、表面粗糙度(Ra)为76.2 nm;而研磨液中加入2％的乙二醇后,相应的MRR为224.1 nm/min,Ra为50.7 nm.用光电子能谱仪(XPS)分析了工件表面,结果表明含有乙二醇的研磨液能够增加蓝宝石工件表面的活性.得到的结果显示:在溶液中加入乙二醇有利于表面软化层的生成并增加蓝宝石表面的活性,说明研磨液对蓝宝石单晶研磨效率的提升和表面质量的改善具有促进作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永伟	南京航空航天大学机电学院	128	1288	19.0	26.0
2	王建彬	南京航空航天大学机电学院	43	138	5.0	10.0
6	居志兰	南京航空航天大学机电学院	8	161	7.0	8.0
7	徐俊	南京航空航天大学机电学院	13	140	6.0	11.0
8	谢春祥		4	43	1.0	4.0