锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

• 作者: 吴敬 周炜 欧阳程 高艳卿 黄志明
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 锰钴镍铜氧 薄膜 红外探测 负温度系数
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 笠红外技术及应用笠
• 页码范围: 1073-1079
• 页数: 7页
• 分类号: TN215
• 字数: 4192字
• 语种: 中文

摘要

报道了锰钴镍铜氧薄膜(Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4， MCNC，x=0,0.08,0.16,0.24）的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例，制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明，对于一定厚度及尺寸的薄膜器件，铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声，弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40 ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83×107 cm·Hz1/2W-1，相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外，对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志明	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	43	424	10.0	19.0
2	周炜	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	18	115	6.0	10.0
3	欧阳程	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	5	7	1.0	2.0
4	吴敬	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	5	7	1.0	2.0
5	高艳卿	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	6	11	2.0	3.0