基于频率特征的薄膜损伤声学判别方法

• 作者: 梁海锋 王坤坤 苏俊宏
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜损伤 声频 激光能量 相似 曲线特征
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.071004

摘要

利用声学法研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,对其采集到的时域信号进行傅里叶变换,比较和分析薄膜损伤前后声波24～40 kHz高频段的曲线,提取频率特征,并提出用曲线相似函数进行薄膜损伤的识别方法.实验数据结果表明,该方法简单易行,可降低环境噪声的影响,既能实现在线检测,又能准确判别薄膜损伤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁海锋	西安工业大学光电工程学院	35	180	7.0	12.0
2	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0
3	王坤坤	西安工业大学光电工程学院	2	3	1.0	1.0