基于CVD自组装生长氧化锌半导体纳米结构的光电导紫外探测器研究

• 作者: 刘晗 彭文博 贺永宁 赵小龙
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌纳米结构膜 自组装 紫外探测
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 页码范围: 1901-1905
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 825字
• 语种: 中文

摘要

报道了一种基于自组装生长ZnO纳米结构的光电导型紫外探测器.首先,在石英衬底上制备银叉指电极,然后溅射ZnO纳米薄膜形成一种共面光电导型金属-半导体-金属(MSM)结构,再利用低压CVD生长方法进行ZnO纳米线的原位生长,从而在器件顶部形成了ZnO纳米线垂直阵列和其上交错排列ZnO纳米线所构成的双层ZnO纳米线结构.这种器件底部的ZnO薄膜既是MSM光电导器件的电荷传输层,也同时作为上层ZnO纳米结构自组装生长的籽晶层,顶部的ZnO纳米结构层作为紫外光敏感层,测试结果表明该器件具有光响应速度快、光响应电流大和良好的紫外响应可分辨特性.研究表明,相比于单根ZnO纳米线光电导紫外器件而言,基于ZnO纳米结构膜层的光电导紫外探测器能够大幅度提高可测光响应电流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺永宁	西安交通大学电子与信息工程学院	58	265	9.0	12.0
2	刘晗	西安交通大学电子与信息工程学院	6	25	4.0	5.0
3	彭文博	西安交通大学电子与信息工程学院	3	21	3.0	3.0
4	赵小龙	西安交通大学电子与信息工程学院	9	25	3.0	4.0