集群磁流变效应抛光垫的磨粒“容没”效应机理研究

• 作者: 徐西鹏 白振伟 路家斌 阎秋生
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变效应抛光垫 磨粒 “容没”效应 表面损伤
• 年，卷（期）: 2014,（20）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2705-2709,2710
• 页数: 6页
• 分类号: TG356|TH161
• 字数: 4417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2014.20.002

摘要

针对集群磁流变抛光加工方法，研究了集群磁流变效应抛光垫对磨粒的“容没”机理。通过建立磨粒“容没”模型，并在磁流变抛光工作液中掺杂大尺寸磨粒对K9光学玻璃与硅片进行抛光加工实验，发现在粒径为0.6μm的磨粒中掺杂粒径为1.8μm的金刚石粉进行抛光后的表面质量优于粒径为1.1μm的磨粒加工的表面质量，且发现随着掺杂磨粒尺寸的增大，加工表面的 Ra、Rv值虽有增大，但增长幅度远小于同等状况下游离磨粒加工的增长幅度。研究结果表明：集群磁流变效应抛光垫的磨粒“容没”效应能够使粒径不同的磨粒均匀作用于工件表面，显著减小甚至消除大尺寸磨粒对加工表面造成的损伤。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐西鹏	华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心	186	1660	20.0	28.0
2	阎秋生		146	787	13.0	20.0
3	路家斌		58	257	9.0	12.0
4	白振伟		8	63	4.0	7.0