电子级多晶硅生产技术探讨

• 作者: 危胜 胥五一
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级多晶硅 半导体级多晶硅 生产技术 改良西门子法
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3213字
• 语种: 中文

摘要

介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化(三氯氢硅合成)、低温氢化(四氯化硅转化)、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序.结合电子级多晶硅生产技术的成功工程应用实践,介绍了电子级多晶硅项目的技术特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胥五一		1	6	1.0	1.0
2	危胜		4	9	2.0	3.0