化学气相沉积技术的发展与应用

• 作者: 李洁
• 来源期刊: 建筑工程技术与设计
• 关键词: 化学气相沉积 发展 应用
• 年，卷（期）: 2014,（20）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 1081-1081
• 页数: 1页
• 字数: 2327字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了化学气相沉积技术的发展及其应用，在分析其原理、特点的基础上，介绍几种常用的化学气相沉积技术，并对其未来的发展趋势提出构想。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李洁	重庆交通大学土木建筑学院	7	21	3.0	4.0