分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究

• 作者: 唐伟忠 安晓明 李义锋 杨梓 苏静杰 郭辉
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波介电性能 分体圆柱谐振腔 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 751-756
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 字数: 4411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20140629

摘要

针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点，研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品，用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上，使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在 Ka 波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明，由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能，其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
2	郭辉	河北省科学院激光研究所	3	22	2.0	3.0
3	李义锋	北京科技大学材料科学与工程学院	6	39	2.0	6.0
4	苏静杰	北京科技大学材料科学与工程学院	4	27	2.0	4.0
8	杨梓	北京科技大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
9	安晓明	河北省科学院激光研究所	1	2	1.0	1.0