基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法

• 作者: 刘巍 潘明波
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 部分相干成像 光刻机 空间像 傅里叶光学 仿真计算
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 图像与信号处理
• 页码范围: 87-90,94
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文

摘要

光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视.提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径.通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化).该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高.该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景.