ECR等离子体刻蚀对玻璃光学和润湿性能的影响

• 作者: 严辉 孟祥曼 宋雪梅 王亮 王波 陈宇
• 来源期刊: 北京工业大学学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: ECR等离子体刻蚀 玻璃 透过率 亲水性
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1897-1900
• 页数: 4页
• 分类号: U461|TP308
• 字数: 3167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11936/bjutxb2015060085

摘要

为了提高太阳能电池盖板玻璃的透过率和自清洁性能,采用电子回旋共振( ECR)等离子体刻蚀与金属颗粒掩膜结合的方法刻蚀硼硅酸盐玻璃,采用扫描电镜( SEM)对刻蚀后玻璃表面形貌进行了观察,采用分光光度计测量了刻蚀前后玻璃透过率变化,并用接触角仪测定了刻蚀前后玻璃表面润湿性变化. 结果表明:经过ECR等离子体刻蚀后,在玻璃表面形成多山峰状纳米结构,平均尺寸约在80～140 nm,并有效提高了玻璃的可见光透过率,尤其是在有偏压刻蚀后透过率由原来91%提高到94. 4%,同时,玻璃表面亲水性增强,接触角θc由原来的47. 2°变为7. 4°,自清洁性能得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严辉	北京工业大学材料科学与工程学院	178	1225	16.0	29.0
2	王波	北京工业大学材料科学与工程学院	80	638	11.0	23.0
3	宋雪梅	北京工业大学材料科学与工程学院	44	498	11.0	21.0
4	王亮	北京工业大学材料科学与工程学院	24	137	7.0	10.0
5	陈宇	北京工业大学材料科学与工程学院	9	65	3.0	8.0
6	孟祥曼	北京工业大学材料科学与工程学院	2	4	2.0	2.0