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摘要:
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅.提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图形转移,采用分段、分步离子束刻蚀技术开展了获得不同闪耀角的离子束刻蚀实验.最后在同一光栅基底上分区制作了位相相同,并具有9,18,29°3个不同闪耀角,口径为60 mm×60 mm,使用波段为200~900 nm的宽波段全息光栅.衍射效率测试结果显示其在使用波段的最低衍射效率超过30%,最高衍射效率超过50%,实验结果与理论计算结果基本符合.与其它方式制作的宽波段光栅相比,采用宽波段全息离子束刻蚀光栅不但工艺成熟,易于控制光栅槽形,而且光栅有效面积尺寸较大,便于批量复制.
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文献信息
篇名 宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
来源期刊 光学精密工程 学科 物理学
关键词 全息光栅 宽波段光栅 离子束刻蚀 刻蚀模拟
年,卷(期) 2015,(7) 所属期刊栏目 现代应用光学
研究方向 页码范围 1978-1983
页数 6页 分类号 O436.1
字数 2506字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20152307.1978
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张方程 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 5 19 2.0 4.0
2 谭鑫 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 16 55 4.0 7.0
3 吴娜 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 20 91 6.0 9.0
4 于海利 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 22 92 7.0 9.0
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研究主题发展历程
节点文献
全息光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
研究起点
研究来源
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研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
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