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宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
作者:
于海利
吴娜
张方程
谭鑫
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
全息光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
摘要:
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅.提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图形转移,采用分段、分步离子束刻蚀技术开展了获得不同闪耀角的离子束刻蚀实验.最后在同一光栅基底上分区制作了位相相同,并具有9,18,29°3个不同闪耀角,口径为60 mm×60 mm,使用波段为200~900 nm的宽波段全息光栅.衍射效率测试结果显示其在使用波段的最低衍射效率超过30%,最高衍射效率超过50%,实验结果与理论计算结果基本符合.与其它方式制作的宽波段光栅相比,采用宽波段全息离子束刻蚀光栅不但工艺成熟,易于控制光栅槽形,而且光栅有效面积尺寸较大,便于批量复制.
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文献信息
篇名
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
来源期刊
光学精密工程
学科
物理学
关键词
全息光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
年,卷(期)
2015,(7)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
1978-1983
页数
6页
分类号
O436.1
字数
2506字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20152307.1978
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张方程
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
5
19
2.0
4.0
2
谭鑫
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
16
55
4.0
7.0
3
吴娜
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
20
91
6.0
9.0
4
于海利
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
22
92
7.0
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研究主题发展历程
节点文献
全息光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
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