离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进

• 作者: 刘向阳 刘诗嘉 孙艳 李向阳 贾嘉
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 离子束刻蚀 深宽比
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 282-285
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2015.03.005

摘要

高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅离子源,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碲镉汞刻蚀图形的剖面轮廓并计算了深宽比.分析了这些工艺方法对刻蚀图形轮廓的影响,获得了一些有助于获得高深宽比的离子束刻蚀沟槽的实验结果.