离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度

• 作者: 乔辉 储开慧 刘向阳 徐国庆 李向阳 汤亦聃 王仍 贾嘉
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光诱导电流 p型HgCdTe Ar+离子束刻蚀 转型宽度
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 477-480
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 2591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2014.00477

摘要

用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔,利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现,在相同的刻蚀条件下,n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时,n区宽度随汞空位浓度的增加呈线性减小;当汞空位浓度一定时,n区宽度随被刻蚀HgCdTe体积的增加呈线性增加.