TiN/AlTiN纳米多层涂层组织与性能的研究

• 作者: 杨伦旺 江林 邱联昌
• 来源期刊: 中国钨业
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/AlTiN 纳米多层涂层 组织与性能 涂层硬质合金 阴极弧蒸发技术
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 冶金?材料
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TF125.2+41|TF124.8+5|TG335.86
• 字数: 2893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0622.2015.06.009

摘要

采用阴极弧蒸发涂层工艺在硬质合金基体上沉积了TiN/AlTiN纳米多层涂层。利用光学显微镜、SEM、XRD、显微硬度计和划痕测试仪、纳米压痕仪，分析了涂层的组织形貌、纳米调制周期、化学成分、物相组成、结合强度和硬度，并对涂层硬质合金刀片进行了铣削合金钢的切削性能测试。研究结果表明：TiN/AlTiN纳米多层涂层具有致密的柱状晶结构，保留了AlTiN单层涂层的（200）择优取向。大尺寸熔滴Ti含量高、小尺寸熔滴Al含量高，涂层中Al含量低于靶材。调制周期为18.4 nm的TiN/AlTiN纳米多层涂层具有良好的结合强度（＞100 N）和高的硬度（28.2 GPa）。相同涂层厚度的情况下，TiN/AlTiN纳米多层涂层具有比同类单层涂层更高的耐磨性，表现出更好的切削性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱联昌		2	3	1.0	1.0
2	杨伦旺		1	0	0.0	0.0
3	江林		1	0	0.0	0.0