轴向磁场对电弧离子镀TiN薄膜组织结构及力学性能的影响

• 作者: 于宝海 杨文进 肖金泉 赵彦辉 郭朝乾 陈育秋
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 轴向磁场 TiN 硬度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 56-61
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.009

摘要

为了研究轴向磁场对薄膜结构及力学性能的影响规律,采用电弧离子镀方法在高速钢基体上沉积了TiN薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、轮廓仪和纳米压痕仪考察了外加轴向磁场对薄膜化学成分、组织结构、硬度及弹性模量的影响.结果表明:外加轴向磁场对TiN薄膜的组织结构及力学性能有明显影响.磁场强度越高,薄膜表面颗粒及溅射坑越大,薄膜表面粗糙度增大;薄膜中N含量随着磁场强度增加而增大,而Ti含量则显示出相反的趋势;磁场对薄膜择优取向有明显影响,随着磁场强度增加,薄膜(111)取向增强,而后逐渐转变为(220)择优;薄膜硬度和弹性模量随着磁场强度增加先增加而后降低,在磁场强度为50 Gs时分别达到最大值28.4 GPa与415.4 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于宝海	中国科学院金属研究所专用材料与器件研究部	23	138	6.0	11.0
2	肖金泉	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	21	112	7.0	10.0
3	赵彦辉	中国科学院金属研究所专用材料与器件研究部	20	60	5.0	6.0
4	陈育秋	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	4	7	1.0	2.0
5	郭朝乾	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	2	9	2.0	2.0
6	杨文进	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	3	11	2.0	3.0