压力对纳米金刚石膜生长的影响

• 作者: 丰杰 胡东平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石 压力 化学气相沉积 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米材料研究
• 页码范围: 186-189
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.46
• 字数: 291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024137

摘要

纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景.纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备.其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳米金刚石膜,而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化.实验通过不同压力下制备金刚石膜,采用扫描电镜进行形貌观察,并通过拉曼光谱确定纳米金刚石结构.实验表明,金刚石膜形态随压力变化而改变,一定压力下生长出纳米金刚石膜,降低压力则晶体颗粒变粗.分析其原因是与氢原子的运动密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丰杰	中国工程物理研究院总体工程研究所	23	116	7.0	9.0
2	胡东平	中国工程物理研究院总体工程研究所	15	79	6.0	8.0