超纳米金刚石薄膜的显微力学性能表征

• 作者: 丰杰 余志明 吴先哲 李周 李建国 梅军 谢友能 魏秋平
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: 超纳米金刚石薄膜 纳米压痕 力学性能 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 3291-3296
• 页数: 6页
• 字数: 500字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(15)63966-8

摘要

研究4种不同气氛下制备的可应用于 MEMS 方面的超纳米金刚石薄膜的显微力学特征。利用纳米压痕技术得到样品的加载?卸载曲线及硬度和弹性模量随压入深度的变化关系。结果表明，无Ar条件下制备的薄膜具有最好的弹性回复能力、最高的硬度(72.9 GPa)和弹性模量(693.7 GPa)。同时低Ar含量更有利于提高薄膜的硬度和弹性模量。以上结果说明无Ar或低Ar含量更有利于提高纳米金刚石薄膜的力学性能，以更好地应用于MEMS方面。