电泳沉积法制备热子氧化铝绝缘层

• 作者: 姚徐 李鹤 王丽 罗勇 胥麟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: Hamaker's law 电泳沉积 电压 沉积时间 氧化铝
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 732-736
• 分类号: O646.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.06.16

摘要

基于Hamaker's law和静电场边界模型推导出考虑电场变化情况下沉积量与电泳条件的关系式,结合法拉第定律,使用溶液电流宏观地表征溶胶粒子沉积速率.分别改变电压和沉积时间进行电泳沉积实验,得到的沉积量与电压和时间的线性关系与本文推导出的公式一致.根据所得实验数据,在电泳条件下沉积60μm氧化铝,结果表明:涂层的表面特性主要受沉积时间影响,涂层的孔度主要由电压决定,电压40V沉积6s获得的热子氧化铝绝缘层性能最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗勇	电子科技大学物理电子学院	90	684	14.0	20.0
2	王丽	电子科技大学物理电子学院	42	281	10.0	13.0
3	李鹤	电子科技大学物理电子学院	2	4	1.0	2.0
4	胥麟	电子科技大学物理电子学院	2	4	1.0	2.0
5	姚徐	电子科技大学物理电子学院	1	3	1.0	1.0