MEMS面内电热微驱动器中U型梁的分析

• 作者: 刘双杰 王锁成 郝永平
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 单刀双掷 Coventorware 电热微驱动器 热膨胀 接触电极 应力校核
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TM564.3
• 字数: 1728字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种单刀双掷面内电热微驱动器。基于U型梁受热膨胀的原理,在电压作用下梁受热变形,推动接触电极和信号电极接触,进而输出信号。分别采用金属镍和氮化硅作为驱动器主体结构和隔离部分的结构材料。利用Coven-torware软件对驱动器中U型折叠梁进行有限元仿真,得出折叠梁在温度为300 K、电压为3 V、热臂宽度为2μm时,冷臂宽度和驱动位移、驱动力之间的曲线关系图,进而确定冷臂的宽度为20μm。此时梁的位移为22μm,固定端受力为180 N。最后进行应力校核,梁的最大应力为120 MPa,小于镍的许用应力,具有较高的可靠性。